Полупроводниковый инжекционный лазер. Курсовая работа полупроводниковый лазер

В лазерах этого типа активной средой является полупроводниковый кристалл. Наиболее распространенный способ накачки – пропускание через кристалл тока.

Полупроводниковый инжекционный лазер представляет собой двухэлектродный прибор с p-n- переходом (поэтому часто используется термин «лазерный диод»), в котором генерация когерентного излучения связана с инжекцией носителей заряда при протекании прямого тока через p-n- переход.

Активная среда инжекционного лазера (рис. 3.23) размещена в тонком прямоугольном параллелепипеде, расположенном между р и n слоями полупроводниковой структуры; толщина d активной области около 1 мкм. Полированные или сколотые торцы кристалла (шириной w ), выполненные оптически плоскими и строго параллельными, в такой конструкции действуют как оптический резонатор (аналог резонатора Фабри-Перо). Коэффициент отражения оптического излучения на полированных плоскостях кристалла достигает 20-40%, что обеспечивает необходимую положительную обратную связь без применения дополнительных технических средств (специальных зеркал или отражателей). Однако боковые грани кристалла имеют шероховатую поверхность, что уменьшает отражение оптического излучения от них.

Рисунок 3.23 – Конструкция полупроводникового лазера

Накачка активной среды в лазерном диоде обеспечивается внешним электрическим смещением р-n - перехода в прямом направлении. При этом через р-n - переход протекает значительный ток I лд и достигается интенсивная инжекция возбужденных носителей заряда в активную среду полупроводникового лазера. В процессе рекомбинации инжектированных электронов и дырок излучаются кванты света (фотоны).

Лазерные колебания возбуждаются и генерируются, если усиление фотонов в активной среде превышает потери оптического излучения, связанные с частичным выводом, рассеянием и поглощением фотонов. Коэффициент усиления фотонов в активной среде полупроводникового лазера оказывается значительным только при интенсивной инжекции заряда. Для этого необходимо обеспечить достаточно большой электрический ток I лд .

Чтобы систему с активным веществом превратить в генератор, необходимо создать положительную обратную связь, то есть часть усиленного выходного сигнала нужно возвратить в кристалл. Для этого в лазерах используются оптические резонаторы. В полупроводниковом лазере роль резонатора выполняют параллельные грани кристалла, создаваемые методом скола.

Кроме того, необходимо обеспечить электрическое, электронное и оптическое ограничения. Суть электрического ограничения состоит в том, чтобы максимальная доля пропускаемого через структуру электрического тока проходила через активную среду. Электронное ограничение – это сосредоточение всех возбужденных электронов в активной среде и принятие мер против их расплывания в пассивные области. Оптическое ограничение должно предотвратить растекание светового луча при его многократных проходах через кристалл и обеспечить удержание лазерного луча в активной среде. В полупроводниковых лазерах это достигается за счет того, что зона удержания луча характеризуется несколько большим значением показателя преломления, чем соседние области кристалла, – вследствие этого возникает волноводный эффект самофокусировки луча. Неодинаковость показателей преломления достигается различием в характере и степени легирования зон кристалла, включая использование гетероструктур.

При рекомбинации свободных электронов и дырок в полупроводниках освобождается энергия, которая может сообщаться кристаллической решетке (переходить в тепло) или излучаться в виде квантов света (фотонов). Для полупроводниковых лазеров принципиально важным является испускание фотонов (излучательная рекомбинация). В кремниевых и германиевых полупроводниках доля рекомбинационных актов, вызывающих излучение фотонов, весьма невелика; такие полупроводники по существу непригодны для лазеров.

Иначе протекают рекомбинационные процессы в бинарных (двойных) полупроводниках типа А 3 В 5 (а также А 2 В 6 и А 4 В 6), где в определенных, технически совершенных условиях доля излучательной рекомбинации приближается к 100%. Такие полупроводники являются прямозонными; возбужденные электроны проходят запрещенную зону, теряя энергию и излучая фотоны напрямую, не изменяя импульса и направления движения, без дополнительных стимулирующих условий и средств (промежуточных энергетических уровней и тепловых воздействий). Вероятность прямых излучательных переходов оказывается наиболее высокой.

Среди бинарных соединений типа А 3 В 5 в качестве лазерных материалов доминируют кристаллы арсенида галлия GaAs. Расширение физических и технических возможностей полупроводниковых лазеров обеспечивают твердые растворы арсенида галлия, в которых атомы дополнительных элементов (алюминия – Al, индия – In, фосфора – Р, сурьмы – Sb) смешаны и жестко фиксированы в общей кристаллической решетке базовой структуры. Распространение получили тройные соединения: арсенид галлия–алюминия Ga 1–x Al x As, арсенид индия–галлия In x Ga 1–x As, арсенид–фосфид галлия GaAs 1–x P x , арсенид–антимонид галлия GaAs x Sb 1–x и четверные соединения: Ga x In 1–x Asy P 1–y , Al x Ga 1–x Asy Sb 1–y . Содержание (х или у ) конкретного элемента в твердом растворе задано в пределах 0<х <1, 0<у <1.

Эффективно излучающими прямозонными полупроводниками являются двойные соединения А 3 В 5 (InAs, InSb, GaSb), A2B6 (ZnS, ZnSe, ZnTe, ZnO, CdS, CdTe, CdSe), группа (PbS, PbSe, PbTe) и твердые растворы (Zn 1–x Cd x S, CdS 1–x Se x , PbS 1–x Se x , Pb x Sn 1–x Te).

Длина волны излучения полупроводникового лазера достаточно жестко связана с шириной запрещенной зоны, которая, в свою очередь, четко определяется физическими свойствами конкретного полупроводникового соединения. Варьируя состав лазерного материала, можно изменять ширину запрещенной зоны и, как следствие, длину волны лазерного излучения.

Инжекционные лазеры имеют следующие достоинства:

сверхминиатюрность: теоретическая минимальная длина резонатора близка к 10 мкм, а площадь его поперечного сечения – к 1 мкм 2 ;

высокий КПД преобразования энергии накачки в излучение, приближающийся у лучших образцов к теоретическому пределу; это обусловлено тем, что лишь при инжекционной накачке удается исключить нежелательные потери: вся энергия электрического тока переходит в энергию возбужденных электронов;

удобство управления - низкие напряжения и токи возбуждения, совместимые с интегральными микросхемами; возможность изменения мощности излучения без применения внешних модуляторов; работа как в непрерывном, так и в импульсном режиме с обеспечением при этом очень высокой скорости переключения (в пикосекундном диапазоне).

Управление полупроводниковыми лазерами (лазерными диодами) обеспечивается схемотехническими средствами и потому оказывается относительно несложным. Мощность излучения Ризл полупроводникового лазера (рис. 3.24) зависит от инжекционного тока Iлд (тока возбуждения) в активной зоне лазерного диода (ЛД). При небольших уровнях тока Iлд полупроводниковый лазер действует как светодиод и генерирует некогерентное оптическое излучение небольшой мощности. При достижении порогового уровня тока Iлд оптические колебания в лазерном резонаторе генерируются, становятся когерентными; резко возрастает мощность излучения Ризл . Однако генерируемая мощность Ризл и в этом режиме пропорциональна уровню тока Iлд . Таким образом, возможности изменения (переключения, модуляции) мощности излучения полупроводникового лазера прямо связаны с целенаправленным изменением инжекционного тока Iлд .

В импульсном режиме действия лазерного диода его рабочая точка М (рис.3.24а ) фиксируется на пологом участке ватт­амперной характеристики Ризл = (Iлд ) в предпороговой области лазера. Резкое увеличение тока Iлд переводит рабочую точку на крутой участок характеристики (например, в положение N ), что гарантирует возбуждение и интенсивный рост мощности лазерных колебаний. Спад тока Iлд и перевод рабочей точки лазера в исходное положение М обеспечивают срыв лазерных колебаний и резкое снижение выходной мощности лазерного излучения.

В аналоговом режиме модуляции лазерных колебаний рабочая точка Q фиксируется на крутом участке ватт­амперной характеристики (рис. 3.24б ). Изменение тока Iлд под действием внешнего информационного сигнала приводит к пропорциональному изменению выходной мощности полупроводникового лазера.

Рисунок 3.24 – Диаграммы управления мощностью излучения полупроводникового лазера в режимах цифровой (а) и аналоговой (б) модуляции

Инжекционным лазерам присущи и недостатки, к наиболее принципиальным из которых можно отнести:

Невысокую когерентность излучения (в сравнении, например, с газовыми лазерами) - значительную ширину спектральной линии;

Большую угловую расходимость;

Асимметрию лазерного пучка.

Асимметрия лазерного луча объясняется явлением дифракции, из­за которой световой поток, излучаемый прямоугольным резонатором, расширяется неодинаково (рис. 3.25а ): чем у же торец резонатора, тем больше угол излученияθ. В полупроводниковом лазере толщина d резонатора заметно меньше его ширины w; поэтому угол излучения θ|| в горизонтальной плоскости (рис. 3.25б ) меньше угла θ 1 в вертикальной плоскости (рис. 3.25в ), а луч полупроводникового лазера имеет эллиптическое сечение. Обычно θ || ≈ 10­15°, a θ 1 ≈ 20-40°, что явно больше, чем у твердотельных и, особенно, газовых лазеров.

Рисунок 3.25 – Рассеяние оптического излучения полупроводникового лазера

Для устранения асимметрии эллиптический гауссов пучок света с помощью скрещенных цилиндрических линз (рис. 3.9) преобразуют в пучок круглого сечения.

Рисунок 3.26 – Преобразование эллиптического гауссова светового пучка в круговой с помощью скрещенных цилиндрических линз

В допечатных процессах лазерные диоды нашли чрезвычайно широкое применение В качестве источников экспонирующего излучения во многих фотовыводных и формовыводных устройствах, а также в цифровых печатных машинах.

Как правило, лазерное излучение поступает на экспонируемый материал от лазерного диода через оптиковолоконные световоды. Для оптимального оптического согласования полупроводниковых лазеров и волоконных световодов используются цилиндрические, сферические и стержневые (градиентные) линзы.

Цилиндрическая линза (рис. 3.27а ) позволяет преобразовать сильно вытянутый эллипс пучка лазерного излучения и придать ему на входе в волоконный световод почти круглое сечение. При этом эффективность ввода лазерного излучения в многомодовый световод достигает 30%.

Рисунок 3.27 – Применение цилиндрической (а) и сферической (б) линз для оптического согласования полупроводникового лазера и волоконного световода

Сферическая линза (рис. 3.27б ) обеспечивает преобразование расходящихся лучей лазерного излучения в параллельный пучок света значительного диаметра, что заметно облегчает дальнейшее преобразование и оптимальный ввод оптического излучения.

Эффективным элементом такого преобразования и ввода является стержневая (градиентная) линза, которая фокусирует излучение в пучок, сходящийся под необходимым (относительно небольшим) углом с числовой апертурой волоконного световода. Стержневые линзы имеют цилиндрическую форму с плоскими торцами для ввода оптического излучения. В стержневой (градиентной) линзе, как и в градиентном оптическом волокне, коэффициент преломления не является постоянным, а уменьшается пропорционально квадрату расстояния: от центральной оси (то есть пропорционально квадрату радиуса). Однако, в отличие от градиентного световода, у градиентной линзы большой диаметр (1­2 мм) и нет оболочки.

На рис. 3.28а показаны траектории светового пучка в градиентной линзе, в которую вводится параллельный пучок, далее изменяется и продвигается по синусоидальной траектории. Такая траектория распространения света имеет период (шаг)

где g - параметр, определяющий распределение показателя преломления (и, как следствие, степень фокусировки) линзы.

Создавая (вырезая) градиентный стержень определенной длины L , можно четко сформировать определенные фокусирующие свойства линзы. Если L = Lр /2, то падающий параллельный пучок света можно сфокусировать в объеме линзы, а затем вывести его вновь в виде параллельного пучка.

Градиентная линза длиной L = Lp /4 фокусирует параллельный пучок света в пятно небольшого диаметра (рис. 3.28б ), что эффективно при вводе пучка оптического излучения значительного диаметра в волоконный световод с небольшой числовой апертурой.

Формируя градиентную линзу длиной L ≤ Lp /2 в техническом варианте, представленном на рис. 3.28в , можно успешно согласовать по оптическому каналу полупроводниковый лазер и волоконный световод

Рисунок 3.28 – Применение стержневых линз для ввода и вывода оптического излучения

В системах CtP обычно используются диоды малой мощности. Однако при их объединении в группы суммарная мощность системы может достигать сотен ватт при КПД 50%. Обычно полупроводниковые лазеры не требуют применения специальных систем охлаждения. Интенсивное водяное охлаждение используется только в устройствах повышенной мощности.

Главным недостатком полупроводниковых лазеров является неодинаковое распределение энергии по сечению лазерного луча. Однако, благодаря хорошему соотношению цены и качества, полупроводниковые лазеры стали в последнее время наиболее востребованным видом источников экспонирующего излучения в CtP-системах.

Широко применяются сегодня инфракрасные диоды с длиной волны 670 и 830 нм. Среди устройств, оснащенных ими - Lotem и Trendsetter (Creo); PlateRite (Dainippon Screen); Topsetter (Heidelberg); XPose! (Luscher); Dimension (Presstek). Для повышения производительности устройств экспонирование осуществляется матрицей диодов. Минимальный размер точки обычно лежит в пределах 10-14 мкм. Однако малая глубина резкости ИК-диодов требует применения дополнительных операций по коррекции луча. Из достоинств ИК-диодов можно отметить возможность загрузки пластин при дневном свете.

В последнее время во многих моделях CtP-устройств используется фиолетовый лазерный диод с длиной волны 405 нм. Полупроводниковый фиолетовый лазер применяется в промышленности сравнительно недавно. Его внедрение связано с разработкой технологии DVD. Достаточно быстро новый источник излучения стал применяться в системах Computer-to-Plate. Фиолетовые лазерные диоды дешевы, долговечны и имеют достаточную для воздействия на копировальные слои пластин энергию излучения. Однако из-за коротковолновой эмиссии лазер очень прихотлив в работе, а на качество записи большое влияние оказывают качество поверхности печатной пластины и состояние оптики. Пластины для экспонирования фиолетовым лазером можно загружать при желтом освещении. В настоящее время фиолетовый лазер используется в следующих устройствах: Palladio (Agfa); Mako 2 (ECRM); Luxel V/Vx (FujiFilm); Prosetter (Heidelberg); PlateDriver (Esko-Graphics).

Применение длинноволновых полупроводниковых и светодиодных источников заметно упрощает схему построения ФНА. Однако эти источники имеют малую мощность, а это приводит к получению «мягкой» точки, площадь которой при копировании па формпый материал уменьшается. Длина волны этих лазеров - от 660 нм (красные) до 780 нм (инфракрасные).

МИНОБРНАУКИ РОССИИ

Автономное государственное бюджетное образовательное учреждение

высшего профессионального образования

«Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет

«ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)»

(СПбГЭТУ)

ФАКУЛЬТЕТ ЭЛЕКТРОНИКИ

КАФЕДРА МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ

ПОЛУПРВОДНИКОВЫЕ ОПТОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ

Курсовая работа

Разработка полупроводникового гетеролазера для использования в ВОЛС III поколения.

Выполнил

студент гр. № 0282 Проверил: Тарасов С.А.

Степанов Е. М.

САНКТ-ПЕТЕРБУРГ

2015 г.

Введение 3

III поколения 4

2 Расчетная часть 8

2.1 Выбор структуры и расчет ее параметров 8

2.2 Расчет РОС резонатора 11

2.3 Расчет внутреннего квантового выхода 11

2.4 Расчет оптического ограничения 12

2.5 Расчет порогового тока 12

2.6 Расчет ватт-амперных характеристик 13

2.7 Расчет параметров резонатора 14

2.8 Выбор остальных слоев 14

3 Структура кристалла 16

Заключение 19

Список использованных источников 21

Введение

В качестве источников излучения для волоконно-оптических линий связи целесообразно использовать лазерные диоды на основе твердых растворов полупроводников. В настоящей работе представлен вариант расчета полупроводниковой лазерной структуры на основе соединений третей и пятой групп для волоконно-оптических линий связи III поколения.

1 Волоконно-оптические линии связи III поколения.

Волоконно-оптическая линия связи (ВОЛС) это система, позволяющая передавать информацию. Носителем информации в такой системе выступает фотон. Он движется со скоростью света, что является предпосылкой к увеличению скорости передачи информации. Базовыми компонентами такой системы являются передатчик, оптическое волокно, приемник, ретранслятор (Р), усилитель (У) (рис. 1).

Рисунок 1 – Структурная схема волоконно-оптической линии связи.

Также необходимыми элементами являются кодирующее устройство (КУ) и декодирующее устройство (ДКУ). Передатчик, в общем случае, состоит из источника излучения (ИИ) и модулятора (М). По сравнению с другими способами передачи информации оптоволокно выгодно отличается в первую очередь низкими потерями, что позволяет передавать информацию на большие расстояния. Вторым по значимости параметром является большая пропускная способность. То есть при прочих равных по одному оптоволоконному кабелю можно передать столько же информации, чем например по десяти электрическим. Еще одним важным моментом является возможность объединения нескольких оптоволоконных линий в один кабель и на помехозащищенности это сказываться не будет, что для электрических линий проблематично.

Передатчики предназначены для того, чтобы исходный сигнал, как правило, заданный в электрическом виде, преобразовать в электромагнитную волну оптического диапазона. В качестве передатчиков могут использоваться диоды, лазерные диоды и лазеры. К первому поколению передатчиков относится светоизлучающий диод, который работает на длине волны 0,85 мкм. Второе поколение передатчиков работает на длине волны 1,3 мкм. Третье поколение передатчиков было реализовано на лазерных диодах с длинной волны 1,55 мкм в 1982 году. Использование лазеров в качестве передатчиков дает некоторые преимущества. В частности из-за того, что эмиссия является стимулированной, повышается выходная мощность. Также излучение лазера направленно, что повышает эффективность взаимодействия в оптических волокнах. А узкая ширина спектральной линии уменьшает цветовую дисперсию и увеличивает скорость передачи. Если создать лазер стабильно работающий в режиме одной продольной моды в течении каждого импульса, то можно повысить значение информационной пропускной способности. Для достижения этого можно использовать лазерные структуры с распределенной обратной связью.

Следующим элементов ВОЛС является оптоволокно. Прохождение света по оптоволокну обеспечивается эффектом полного внутреннего отражения. И соответственно оно состоит из центральной части – сердцевины и оболочке выполненной из материала с меньшей оптической плотностью. По количеству типов волн, которые могут распространяться по оптоволокну, их делят на многомодовые и одномодовые. Одномодовые волокна обладают лучшими характеристиками по затуханию и по полосе пропусканию. Но их недостатки связанны с тем, что диаметр одномодовых линий составляет величины порядка единиц микрометров. Это затрудняет введение излучения и сращивание. Диаметр многомодовой жилки составляет десятки микрометров, но полоса пропускания у них несколько меньше и для распространения на большие расстояния они не подходят.

По мере распространения света по оптоволокну он затухает. Такие устройства как ретрансляторы (рис.2 а) преобразуют оптический сигнал в электрический и при помощи передатчика отправляют его по линии дальше с уже большей интенсивностью.

Рисунок 2 – Схематическое изображение устройств а) ретранслятора и б) усилителя.

Усилители делают тоже с той разницей, что они усиливают непосредственно сам оптический сигнал. В отличие от повторителей не корректируют сигнал, а только усиливают и сигнал и шум. После того как свет прошел по оптоволокну он преобразуется обратно в электрический сигнал. Это осуществляет приемник. Обычно это фотодиод на основе полупроводника.

К положительным сторонам ВОЛС относится малое затухание сигнала, широкая полоса пропускания, высокая помехозащищенность. Поскольку волокно изготовлено из диэлектрического материала, оно невосприимчиво к электромагнитным помехам со стороны окружающих медных кабельных систем и электрического оборудования, способного индуцировать электромагнитное излучение. В многоволоконных кабелях также не возникает проблемы перекрестного влияния электромагнитного излучения, присущей многопарным медным кабелям. Среди недостатков нужно отметить хрупкость оптического волокна, сложность монтажа. В некоторых случаях требуется микронная точность. Оптическое волокно имеет спектр поглощения, представленный на рисунке 3.

Рисунок 3 – Спектр поглощения оптоволокна.

В ВОЛС III поколения реализована передача информации на длине волны 1.55 мкм. Как видно из спектра поглощение на этой длине волны самое маленькое оно составляет величину порядка 0.2 децибелов/км.

2 Расчетная часть.

2.1 Выбор структуры и расчет ее параметров.

Выбор твердого раствора. В качестве твердого раствора выбрано четверное соединение Ga x In 1- x P y As 1- y . Ширина запрещенной зоны рассчитывается следующим образом:

(2.1)

Изопериодной подложкой для этого твердого раствора является подложка InP . Для твердого раствора типа A x B 1- x C y D 1- y исходными компонентами будут бинарные соединения: 1 – AC ; 2 – BC ; 3 – AD ; 4 – BD . Расчет энергетических зазоров осуществляется по приведенной ниже формуле.

E (x , y ) = E 4 + (E 3 - E 4 ) x + (E 2 - E 4 ) y + (E 1 + E 4 - E 2 - E 3 ) xy –

– y(1-y) – x(1-x) , (2.2)

где E n – энергетический зазор в заданной точке зоны Бриллюэна бинарного соединения; c mn – коэффициенты нелинейности для трехкомпонентного твердого раствора, образованного бинарными соединениями m и n .

В таблице 1 и 2 приведены значения энергетических зазоров для бинарных соединений, четверных и необходимые коэффициенты для учета температуры. Температура в данном случае была выбрана T = 80 ° C = 353 K .

Таблица 1 – Энергетические зазоры бинарных соединений.

										E с учетом Т
	2,78	2,35	2,72	0,65	0,577	0,577				2,6803	2,2507	2,6207
	1,4236	2,384	2,014	0,363	0,37	0,363				1,3357	2,2533	1,9261
GaAs	1,519	1,981	1,815	0,541	0,46	0,605				1,3979	1,878	1,6795
InAs	0,417	1,433	1,133	0,276	0,276	0,276				0,338	1,3558	1,0558

Таблица 2 – Энергетические зазоры четверных соединений.

GaInPAs	АО	0,7999	1,379	1,3297
		ООО	0,9217
		ОЭ	1,0916

Подбор необходимых значений состава проводился по соотношению x и y приведенному ниже. Полученные значения состава для всех областей: активной, волноводной и области эмиттера сведены в таблицу 5.

Необходимым условием при расчете состава области оптического ограничения и области эмиттера было то, что разница в разрыве зон должна быть отлична не менее чем на 4 kT .

Период решетки четверного соединения рассчитывается по следующей формуле:

a (x,y) = xya 1 + (1-x)ya 2 + x(1-y)a 3 + (1-x)(1-y)a 4 , (2.4)

где a 1 – a 4 – периоды решеток соответствующих бинарных соединений. Они представлены в таблице 3.

Таблица 3 – Периоды решеток бинарных соединений.

		a, A
		5,4509
		5,8688
	GaAs	5,6532
	InAs	6,0584

Для четверных соединений GaInPAs для всех областей значения периодов решеток сведены в таблицу 5.

Расчет показателя преломления производился по соотношению приведенному ниже.

(2.5)

где необходимые параметры представлены в таблице 4.

Таблица 4 – Параметры бинарных и четверных соединений для расчета показателя преломления.

		2,7455	3,6655	5,2655	0,42	31,4388	160,537
		1,3257	2,7807	5,0807	0,604	26,0399	128,707
	GaAs	1,4062	2,8712	4,9712	0,584	30,0432	151,197
	InAs	0,3453	2,4853	4,6853	1,166	14,6475	167,261
GaInPAs	АО	0,8096	2,574	4,7127	0,8682	21,8783	157,1932
		ООО	0,9302	2,6158	4,7649	0,8175	22,4393	151,9349
		ОЭ	1,0943	2,6796	4,8765	0,7344	23,7145	142,9967

Показатель преломления для волноводной области выбирался таким образом, чтобы отличаться от показателя преломления области эмиттера как минимум на один процент.

Таблица 5 – Основные параметры рабочих областей.

АО			ООО			ОЭ
	0,7999			0,9218			1,0917
	0,371			0,2626			0,1403
	0,1976			0,4276			0,6914
a(x,y)	5,8697		a(x,y)	5,8695		a(x,y)	5,8692
Δa, %	0,0145		Δa, %	0,0027		Δa, %	0,0046
	3,6862			3,6393			3,5936
			Δn, %	1,2898		Δn, %	1,2721
	0,1217			0,1218			0,1699

2.2 Расчет РОС резонатора.

Основой РОС резонатора является дифракционная решетка со следующим периодом.

Получившееся таким образом значение периода решетки составляет 214 нм. Толщина слоя между активной областью и областью эмиттера выбрана порядка толщины длины волны, то есть 1550 нм.

2.3 Расчет внутреннего квантового выхода. Значение квантового выхода определяется вероятностью излучательных и безызлучательных переходов.

Значение внутреннего квантового выхода η i = 0.9999.

Излучательное время жизни будет определяться как

(

где R = 10 -10 см 3 /с – коэффициент рекомбинации, p o = 10 15 см -3 – концентрация равновесных носителей заряда, Δ n = 1.366*10 25 см -3 и было рассчитано из

где n N = 10 18 см -3 – концентрация равновесных носителей заряда в эмиттере, Δ E c = 0.5 эВ – разница между шириной запрещенной зоны АО и ОЭ.

Излучательное время жизни τ и = 7.3203*10 -16 с. Безизлучательное время жизни τ и = 1*10 -7 с. Безизлучательное время жизни будет определяться как

где C = 10 -14 с*м -3 – константа, N л = 10 21 м -3 – концентрация ловушек.

2.4 Расчет оптического ограничения.

Приведенная толщина активного слоя D = 10.4817:

Коэффициент оптического ограничения Г = 0.9821:

Для нашего случая необходим также расчет дополнительного коэффициента связанного с толщиной активной области г = 0.0394:

где d п = 1268.8997 нм – размер пятна в ближней зоне, определяемый как

2.5 Расчет порогового тока.

Коэффициент отражения зеркал R = 0.3236:

Пороговая плотность тока может быть рассчитана по следующей формуле:

где β = 7*10 -7 нм -1 – коэффициент распределенных потерь на рассеяние и поглощение энергии излучения.

Пороговая плотность тока j пор = 190.6014 А/см 2 .

Пороговый ток I = j пор WL = 38.1202 мА.

2.6 Расчет ватт-амперных характеристик и КПД.

Мощность до порога P до = 30.5242 мВт.

Мощность после порога P псл = 244.3889 мВт.

На рис. 4 представлен график зависимости выходной мощности от тока.

Рисунок 4 – Зависимость выходной мощности от тока.

Расчет КПД η = 0.8014

КПД =

Дифференциальный КПД η д = 0.7792

2.7 Расчет параметров резонатора.

Разность частот Δν q = 2.0594*10 11 Гц.

Δν q = ν q – ν q -1 =

Число аксиальных мод N акс = 71

N акс =

Неаксиальные колебания Δν m = 1.236*10 12 Гц.

Δν m =

Добротность резонатора Q = 5758.0722

Ширина резонансной линии Δν p = 3.359*10 10 Гц.

Δν p =

Расходимость лазерного луча = 0.0684 °.

где Δλ – спектральная ширина линии излучения, m – порядок дифракции (в нашем случае первый), b – период решетки.

2.8 Выбор остальных слоев.

Для обеспечения хорошего омического контакта в структуре предусмотрен высоколегированный слой (N = 10 19 см -3 ) толщиной 5 мкм. Верхний контакт сделан прозрачным, поскольку вывод излучения осуществляется через него перпендикулярно подложке. Для улучшения структур, выращиваемых на подложке, предпочтительно использование буферного слоя. В нашем случае буферный слой выбран толщиной 5 мкм. Размеры самого кристалла выбраны следующие: толщина 100 мкм, ширина 100 мкм, длина 200 мкм. Подробное изображение структуры со всеми слоями представлено на рисунке 5. Параметры всех слоев такие энергетические зазоры, показатели преломления и уровни легирования представлены на 6,7,8 рисунках соответственно.

Рисунок 6 – Энергетическая диаграмма структуры.

Рисунок 7 – Показатели преломления всех слоев структуры.

Рисунок 8 – Уровни легирования слоев структуры.

Рисунок 9 – Выбранные составы твердых растворов.

Заключение

Разработанный полупроводниковый лазер обладает характеристиками превосходящими изначально заданные. Так пороговый ток у разработанной структуры лазера составил 38.1202 мА, что ниже, чем заданные 40 мА. Выходная мощность также превзошла достаточную – 30.5242 мВТ против 5.

Рассчитанный состав активной области на основе твердого раствора GaInPAs является изопериодным к подложке InP , расхождение периода решеток составило 0.0145 %. В свою очередь периоды решеток следующих слоев имеют расхождение также не превышающее 0.01 % (табл. 5). Это дает предпосылку к технологической реализуемости полученной структуры, а также способствует уменьшению дефектности структуры, не допуская появлению больших не скомпенсированных сил растяжения или сжатия на гетерогранице. Для обеспечения локализации электромагнитной волны в области оптического ограничения необходима разница в показателях преломления ООО и ОЭ не менее одного процента в нашем случае эта величина составила 1.2721 %, что является удовлетворительным результатом, однако дальнейшее улучшение этого параметра невозможно из-за того, что невозможен дальнейший сдвиг по изопериоду. Также необходимым условием работы лазерной структуры является обеспечение локализации электронов в активной области, с тем чтобы было возможно их возбуждение с последующей стимулированной эмиссией, это будет выполняться при условии, что разрыв зон ООО и АО будет больше 4 kT (выполнено – табл. 5).

Коэффициент оптического ограничения полученной структуры составил 0.9821, это значение близко к единице, однако для его дальнейшего увеличения необходимо увеличивать толщину области оптического ограничения. Причем, увеличение толщины ООО в несколько раз дает незначительное увеличение коэффициента оптического ограничения, поэтому в качестве оптимальной толщины ООО выбрана величина близкая к длине волны излучения, то есть 1550 нм.

Высокое значение внутреннего квантового выхода (99.9999 %) обусловлено небольшим количеством безызлучательных переходов, которое в свою очередь является следствием низкой дефектности структуры. Дифференциальный КПД является обобщенной характеристикой эффективности структуры и учитывает такие процессы как рассеяние и поглощение энергии излучения. В нашем случае он составил 77.92 %.

Полученное значение добротности составило 5758.0722, что свидетельствует о невысоком уровне потерь в резонаторе. Поскольку естественный резонатор образованный сколами по кристаллографическим плоскостям кристалла имеет коэффициент отражения зеркал 32.36 %, он будет обладать огромными потерями. В качестве основы резонатора можно использовать распределенную обратную связь в основе которой лежит эффект брэгговского отражения световых волн на периодической решетки, созданной на границе ООО. Расчитанный период решетки составил 214.305 нм, что при ширине кристалла 100 мкм позволяет создать порядка 470 периодов. Чем больше будет число периодов, тем эффективней будет происходить отражение. Еще одним преимуществом РОС резонатора является то, что он обладает высокой селективностью по длине волны. Это позволяет выводить излучение определенной частоты, позволяя преодолеть один из основным недостатков полупроводниковых лазеров – зависимость длины волны излучения от температуры. Также использование РОС обеспечивает возможность вывода излучения под заданным углом. Возможно это стало предпосылкой очень маленького угла расходимости он составил 0.0684 °. Излучение в данном случае выводится перпендикулярно подложке, что является самым оптимальным вариантом, поскольку также способствует наименьшему углу расходимости.

Список исходных источников

1. Пихтин А.Н. Оптическая и квантовая электроника: Учеб. Для вузов [Текст] /А.Н. Пихтин. – М.: Высш. шк., 2001. – 573 с.

2. Тарасов С.А., Пихти А.Н. Полупроводниковые оптоэлектронные приборы. Учебное пособие . СПб . : Изд - во СПбГЭТУ “ ЛЭТИ ”. 2008. 96 с .

3. Физико-технический институт имени А.Ф. Иоффе Российской академии наук [Электронный ресурс] – Режим доступа: http :// www . ioffe . ru / SVA / NSM / Semicond /

PAGE \* MERGEFORMAT 1

Отправить свою хорошую работу в базу знаний просто. Используйте форму, расположенную ниже

Студенты, аспиранты, молодые ученые, использующие базу знаний в своей учебе и работе, будут вам очень благодарны.

Подобные документы

Распространение импульса электромагнитной энергии по световоду. Межмодовая дисперсия в многомодовых световодах. Определение внутримодовой дисперсии. Материальная и волноводная дисперсия в одномодовом волоконном световоде. Длина волны нулевой дисперсии.

контрольная работа , добавлен 18.05.2011


Инжекционный механизм накачки. Величина смещающего напряжения. Основные характеристики полупроводниковых лазеров и их группы. Типичный спектр излучения полупроводникового лазера. Величины пороговых токов. Мощность излучения лазера в импульсном режиме.

презентация , добавлен 19.02.2014


Расчет длины регенерационного участка волоконно-оптической системы (ВОЛС) передачи информации по заданным параметрам энергетического потенциала системы и дисперсии в волоконных световодах. Оценка быстродействия ВОЛС. Определение ширины полосы пропускания.

контрольная работа , добавлен 29.05.2014


Эрбиевые усилители оптического сигнала. Параметры волоконных усилителей. Выходная мощность сигнала и энергетическая эффективность накачки. Ширина и равномерность полосы усиления. Полупроводниковый лазер накачки "ЛАТУС-К". Конструкция лазера накачки.

дипломная работа , добавлен 24.12.2015


Этапы разработки и перспективы внедрения проекта по созданию бюджетного лазерного комплекса на базе полупроводникового лазера, предназначенного для обработки органических материалов. Исследование основных параметров и характеристик фотоприемника.

курсовая работа , добавлен 15.07.2015


Расчет полупроводниковой лазерной структуры на основе соединений третей и пятой групп для волоконно-оптических линий связи III поколения. Выбор структуры кристалла. Расчет параметров, РОС-резонатора, внутреннего квантового выхода, оптического ограничения.

курсовая работа , добавлен 05.11.2015


Прокладка волоконно-оптического кабеля с применением аппаратуры синхронной цифровой иерархии СЦИ (SDH), вместо уплотненной системы К-60п, на участке "Джетыгара - Комсомолец". Расчет предельно-допустимых уровней излучения полупроводникового лазера.

дипломная работа , добавлен 06.11.2014


Падение плоской волны на границу раздела двух сред, соотношение волновых сопротивлений и компонентов поля. Распространение поляризованных волн в металлическом световоде, расчет глубины их проникновения. Определение поля внутри диэлектрического световода.

курсовая работа , добавлен 07.06.2011

Введение

Одним из самых замечательных достижений физики второй половины двадцатого века было открытие физических явлений, послуживших основой для создания удивительного прибора оптического квантового генератора, или лазера.

Лазер представляет собой источник монохроматического когерентного света с высокой направленностью светового луча.

Квантовые генераторы представляют собой особый класс электронных приборов, вобравший в себя самые современные достижения различных областей науки и техники.

Газовыми называются лазеры, в которых активной средой являются газ, смесь нескольких газов или смесь газов с парами металла.

Газовые лазеры представляют собой наиболее широко используемый в настоящее время тип лазеров. Среди различных типов газовых лазеров всегда можно найти лазер, который будет удовлетворять почти любому требованию, предъявляемому к лазеру, за исключением очень большой мощности в видимой области спектра в импульсном режиме.

Большие мощности необходимы для многих экспериментов при изучении нелинейных оптических свойств материалов. В настоящее время большие мощности в газовых лазерах не получены по причине того, что плотность атомов в них недостаточно велика. Однако почти для всех других целей можно найти конкретный тип газового лазера, который будет превосходить как твердотельные лазеры с оптической накачкой, так и полупроводниковые лазеры.

Большую группу газовых лазеров составляют газоразрядные лазеры, в которых активной средой является разреженный газ (давление 1–10 мм рт. ст.), а накачка осуществляется электрическим разрядом, который может быть тлеющим или дуговым и создается постоянным током или переменным током высокой частоты (10–50 МГц).

Существует несколько типов газоразрядных лазеров. В ионных лазерах излучение получается за счет переходов электронов между энергетическими уровнями ионов. Примером служит аргоновый лазер, в котором используется дуговой разряд постоянного тока.

Лазеры на атомных переходах генерируют за счет переходов электронов между энергетическими уровнями атомов. Эти лазеры дают излучение с длиной волны 0,4–100 мкм. Пример – гелий-неоновый лазер, работающий на смеси гелия и неона под давлением около 1 мм рт. ст. Для накачки служит тлеющий разряд, создаваемый постоянным напряжением примерно 1000 В.

К газоразрядным относятся также молекулярные лазеры, в которых излучение возникает от переходов электронов между энергетическими уровнями молекул. Эти лазеры имеют широкий диапазон частот, соответствующий длинам волн от 0,2 до 50 мкм.

Наиболее распространен из молекулярных лазер на диоксиде углерода (СО 2 -лазер). Он может давать мощность до 10 кВт и имеет довольно высокий КПД – около 40%. К основному углекислому газу обычно ещё добавляют примеси азота, гелия и других газов. Для накачки применяют тлеющий разряд постоянного тока или высокочастотный. Лазер на диоксиде углерода создает излучение с длиной волны около 10 мкм.

Проектирование квантовых генераторов весьма трудоемко из-за большого разнообразия процессов, определяющих их эксплуатационные характеристики, но не смотря на это газовые лазеры на углекислом газе используются во многих сферах.

На основе CO 2 -лазеров разработаны и успешно эксплуатируются системы лазерного наведения, локационные системы контроля окружающей среды (лидары), технологические установки лазерной сварки, резки металлов и диэлектрических материалов, установки скрайбирования стеклянных поверхностей, поверхностной закалки стальных изделий. Также CO2-лазеры широко применяються в системах космической связи.

Основной задачей дисциплины «оптоэлектронные квантовые приборы и устройства» является изучение физических основ, устройства, принципов действия, характеристик и параметров важнейших приборов и устройств, используемых в оптических системах связи. К их числу относятся квантовые генераторы и усилители, оптические модуляторы, фотоприемные устройства,нелинейно- оптические элементы и устройства, голографические и интегрально-оптические компоненты. Из этого следует актуальность темы данного курсового проекта.

Целью данного курсового проекта является описание газовых лазеров и расчет гелий-неонового лазера.

В соответствии с целью решаются следующие задачи:

Изучение принципа работы квантового генератора;

Изучение устройства и принципа работы СО 2 -лазера;

Изучение документации по техники безопасности при работе с лазерами;

Расчет СО 2 -лазера.

1 Принцип работы квантового генератора

Принцип работы квантовых генераторов основан на усилении электромагнитных волн с помощью эффекта вынужденного (индуцированного) излучения. Усиление обеспечивается за счет выделения внутренней энергии при стимулируемых внешним излучением переходах атомов, молекул, ионов с некоторого возбужденного верхнего энергетического уровня на нижний (ниже расположенный). Эти вынужденные переходы вызываются фотонами. Энергию фотона можно вычислить по формуле:

hν = E 2 - E 1 ,

где E2 и E1 – энергии верхнего и нижнего уровней;

h = 6,626∙10-34 Дж∙с – постоянная Планка;

ν = c/λ – частота излучения, c – скорость света, λ – длина волны.

Возбуждение, или, как принято называть, накачка, осуществляется либо непосредственно от источника электрической энергии, либо за счет потока оптического излучения, химической реакции, ряда других энергетических источников.

В условиях термодинамического равновесия распределение частиц по энергиям однозначно определяется температурой тела и описывается законом Больцмана, согласно которому, чем выше уровень энергии, тем меньше концентрация частиц, пребывающих в данном состоянии, другими словами, меньше его населенность.

Под воздействием накачки, нарушающей термодинамическое равновесие, может возникнуть обратная ситуация, когда населенность верхнего уровня превысит населенность нижнего. Возникает состояние, которое называется инверсией населенностей. В этом случае количество вынужденных переходов с верхнего энергетического уровня на нижний, при которых возникает индуцированное излучение, превысит число обратных переходов, сопровождающихся поглощением исходного излучения. Поскольку направление распространения, фаза и поляризация индуцированного излучения совпадают с направлением, фазой и поляризацией воздействующего излучения, возникает эффект его усиления.

Среда, в которой возможно усиление излучения за счет индуцированных переходов, называется активной средой. Основным параметром, характеризующим её усилительные свойства, служит коэффициент, или показатель усиления kν - параметр, определяющий изменение потока излучения на частоте ν на единицу длины пространства взаимодействия.

Усилительные свойства активной среды можно существенно повысить, применяя известный в радиофизике принцип положительной обратной связи, когда часть усиленного сигнала возвращается обратно в активную среду и повторно усиливается. Если при этом усиление превышает все потери, включая те, которые используются как полезный сигнал (полезные потери), возникает режим автогенерации.

Автогенерция начинается с появления спонтанных переходов и развивается до некоторого стационарного уровня, определяемого балансом между усилением и потерями.

В квантовой электронике для создания положительной обратной связи на данной длине волны используют преимущественно открытые резонаторы – систему из двух зеркал, одно из которых (глухое) может быть совершенно непрозрачным, второе (выходное) делается полупрозрачным.

Область генерации лазеров соответствует оптическому диапазону электромагнитных волн, поэтому резонаторы лазеров называют еще оптическими резонаторами.

Типичная функциональная схема лазера с указанными выше элементами показана на рисунке 1.

Обязательным элементом конструкции газового лазера должна быть оболочка (газоразрядная трубка), в объеме которой находится газ определенного состава при заданном давлении. С торцевых сторон оболочка закрыта окнами из прозрачного для лазерного излучения материала. Эта функциональная часть прибора называется активным элементом. Окна для уменьшения потерь на отражение от их поверхности устанавливают под углом Брюстера. Лазерное излучение в таких приборах всегда поляризовано.

Активный элемент вместе с зеркалами резонатора, установленными снаружи активного элемента, называется излучателем. Возможен вариант, когда зеркала резонатора закрепляются непосредственно на торцах оболочки активного элемента, выполняя одновременно функцию окон по герметизации газового объема (лазер с внутренними зеркалами).

Зависимость коэффициента усиления активной среды от частоты (контур усиления) определяется формой спектральной линии рабочего квантового перехода. Лазерная генерация возникает только на таких частотах в пределах этого контура, при которых в пространстве между зеркалами укладывается целое число полуволн. В этом случае в результате интерференции прямых и обратных волн в резонаторе формируются так называемые стоячие волны с узлами энергии на зеркалах.

Структура электромагнитного поля стоячих волн в резонаторе может быть самой разнообразной. Её конкретные конфигурации принято называть модами. Колебания с различными частотами, но одинаковым распределением поля в поперечном направлении называются продольными (или аксиальными) модами. Их связывают с волнами, распространяющимися строго вдоль оси резонатора. Колебания, отличающиеся друг от друга распределением поля в поперечном направлении, соответственно - поперечными (или неаксиальными) модами. Их связывают с волнами, распространяющимися под различными небольшими углами к оси и имеющими соответственно поперечную составляющую волнового вектора. Для обозначения различных мод используется следующая аббревиатура: ТЕМmn. В этом обозначении m и n – индексы, показывающие периодичность изменения поля на зеркалах по различным координатам в поперечном направлении. Если при работе лазера генерируется только основная (наинизшая) мода, говорят об одномодовом режиме работы. При наличии нескольких поперечных мод режим называется многомодовым. При работе в одномодовом режиме возможна генерации на нескольких частотах с различным количеством продольных мод. Если генерация происходит только на одной продольной моде, говорят об одночастотном режиме.

Рисунок 1 – Схема газового лазера.

На рисунке приняты следующие обозначения:

1. Зеркала оптического резонатора;
2. Окна оптического резонатора;
3. Электроды;
4. Газоразрядная трубка.

2 Устройство и принцип работы СО 2 -лазера

Схематически устройство СО 2 -лазера представлен на рисунке 2.

Рисунок 2 – Принцип устройства СО2-лазера.

Одной из самой распространенной разновидностью СО 2 -лазеров являются газодинамические лазеры. В них инверсная населенность, необходимая для лазерного излучения, достигается за счет того, что газ, предварительно нагретый до 1500 К при давлении 20–30 атм. , поступает в рабочую камеру, где он расширяется, а его температура и давление резко снижаются. Такие лазеры могут дать непрерывное излучение мощностью до 100 кВт.

Для создания активной среды (как говорят, «накачки») СО 2 -лазеров чаще всего используют тлеющий разряд постоянного тока. В последнее время все шире применяют высокочастотный разряд. Но это особая тема. Высокочастотный разряд и те важнейшие применения, которые он нашел в наше время (не только в лазерной технике), – это тема отдельной статьи. Об общих принципах работы электроразрядных СО 2 -лазеров, проблемах, которые при этом возникают, и некоторых конструкциях, основанных на применении разряда постоянного тока.

В самом начале 70-х годов в ходе разработки мощных СО 2 -лазеров выяснилось, что разряду свойственны неизведанные доселе черты и губительные для лазеров неустойчивости. Они ставят почти непреодолимые препятствия попыткам заполнить плазмой большой объем при повышенном давлении, что как раз и требуется для получения больших лазерных мощностей. Пожалуй, ни одна из проблем прикладного характера не послужила в последние десятилетия прогрессу науки об электрическом разряде в газах так, как задача создания мощных СО 2 -лазеров непрерывного действия.

Рассмотрим Принцип работы СО 2 лазера.

Активной средой почти любого лазера служит вещество, в определенных молекулах или атомах которого в определенной паре уровней можно создать инверсную заселенность. Это означает, что количество молекул, находящихся в верхнем квантовом состоянии, соответствующем радиационному лазерному переходу, превышает количество молекул, находящихся в нижнем. В отличие от обычной ситуации луч света, проходя через подобную среду, не поглощается, а усиливается, что открывает возможность генерации излучения.

Федеральное государственное бюджетное
образовательное учреждение

Курсовое проектирование
на тему:
«Полупроводниковый лазер»

Выполнил:
студент гр. РЭБ-310
Васильев В.Ф.

Проверил:
доцент, к.т.н. Шкаев А.Г.

Омск 2012
Федеральное государственное бюджетное
образовательное учреждение
высшего профессионального образования
«Омский государственный технический университет»
Кафедра «Технология электронной аппаратуры»
Специальность 210100.62 – «Промышленная электроника»

Задание
На курсовое проектирование по дисциплине
«Твердотельная электроника»
Студент группы РЭБ-310 Васильев Василий Федотович

Тема проекта: «Полупроводниковый лазер»
Срок сдачи законченного проекта - 15 неделя 2012 г.

Содержание курсового проекта:

Пояснительная записка.
Графическая часть.

Содержание расчетно- пояснительной записки:
Техническое задание.
Аннотация.
Содержание.
Введение.

Классификация
Принцип действия
Зонные диаграммы в равновесном состоянии и при внешнем смещении.
Аналитическое и графическое представление вольтамперной характеристики светодиодов.
Выбор и описание работы типовой схемы включения
Расчёт элементов выбранной схемы.

Заключение.
Библиографический список.
Приложение.

Дата выдачи задания 10 сентября 2012 г.
Руководитель проекта _________________Шкаев А.Г.

Задание принято к исполнению 10 сентября 2012 г.
Студент группы РЭБ-310 _________________ Васильев В.Ф.

Аннотация

В данной курсовой работе рассмотрены принцип работы, устройство и область применения полупроводниковых лазеров.
Полупроводниковый лазер - твердотельный лазер, в котором в качестве рабочего вещества используется полупроводник.
Курсовая работа выполнена на листах формата А4, в количестве 17 стр. Содержит 6 рисунков и 1 таблицу.

Введение
1. Классификация
2. Принцип действия
3. Зонные диаграммы в равновесном состоянии и при внешнем смещении
4. Аналитическое и графическое представление вольтамперной характеристики
5. Выбор и описание работы типовой схемы включения
6. Расчёт элементов выбранной схемы
7. Заключение
8. Библиографический список
9. Приложение

Введение
В данной курсовой работе будет рассмотрен принцип работы, устройство и область применения полупроводниковых лазеров.
Термин «лазер» появился сравнительно недавно, а кажется, что существует он давным-давно, так широко он вошел в обиход. Появление лазеров одно из самых замечательных и впечатляющих достижений квантовой электроники, принципиально нового направления в науке, возникшего в середине 50-х годов.
Лазер (англ. laser, акроним от англ. light amplification by stimulated emission of radiation - усиление света посредством вынужденного излучения), оптический квантовый генератор - устройство, преобразующее энергию накачки (световую, электрическую, тепловую, химическую и др.) в энергию когерентного, монохроматического, поляризованного и узконаправленного потока излучения
Впервые генераторы электромагнитного излучения, использующие механизм вынужденного перехода, были созданы в 1954 г. советскими физиками А.М. Прохоровым и Н.Г. Басовым и американским физиком Ч.Таунсом на частоте 24 ГГц. Активной средой служил аммиак.
Первый квантовый генератор оптического диапазона был создан Т.Мейманом (США) в 1960 г. Начальные буквы основных компонентов английской фразы “ LightAmplificationbystimulated emissionofradiation” (Усиление света с помощью индуцированного излучения) и образовали название нового прибора – лазер. В качестве источника излучения в нём использовался кристалл искусственного рубина, генератор работал в импульсном режиме. Год спустя появился первый газовый лазер с непрерывным излучением (Джаван, Беннет, Эриот - США). А ещё через год одновременно в СССР и США был создан полупроводниковый лазер.
Главная причина стремительного роста внимания к лазерам кроется, прежде всего, в исключительных свойствах этих приборов.
Уникальные свойства лазера:
монохроматичность (строгая одноцветность),
высокая когерентность (согласованность колебаний),
острая направленность светового излучения.
Существует несколько видов лазеров:
полупроводниковые
твердотельные
газовые
рубиновые

Классификация

Лазеры на двойной гетероструктуре
В этих устройствах, слой материала с более узкой запрещённой зоной располагается между двумя слоями материала с более широкой запрещённой зоной. Чаще всего для реализации лазера на основе двойной гетероструктуры используют арсенид галлия (GaAs) и арсенид алюминия-галлия (AlGaAs). Каждое соединение двух таких различных полупроводников называется гетероструктурой, а устройство - «диод с двойной гетероструктурой» (ДГС). В англоязычной литературе используются названия «double heterostructure laser» или «DH laser». Описанная в начале статьи конструкция называется «диод на гомопереходе» как раз для иллюстрации отличий от данного типа, который сегодня используется достаточно широко.
Преимущество лазеров с двойной гетероструктурой состоит в том, что область сосуществования электронов и дырок («активная область») заключена в тонком среднем слое. Это означает, что много больше электронно-дырочных пар будут давать вклад в усиление - не так много их останется на периферии в области с низким усилением. Дополнительно, свет будет отражаться от самих гетеропереходов, то есть излучение будет целиком заключено в области максимально эффективного усиления.

Диод с квантовыми ямами
Если средний слой диода ДГС сделать ещё тоньше, такой слой начнёт работать как квантовая яма. Это означает, что в вертикальном направлении энергия электронов начнёт квантоваться. Разница между энергетическими уровнями квантовых ям может использоваться для генерации излучения вместо потенциального барьера. Такой подход очень эффективен с точки зрения управления длиной волны излучения, которая будет зависеть от толщины среднего слоя. Эффективность такого лазера будет выше по сравнению с однослойным лазером благодаря тому, что зависимость плотности электронов и дырок, участвующих в процессе излучения, имеет более равномерное распределение.

Гетероструктурные лазеры с раздельным удержанием
Основная проблема гетероструктурных лазеров с тонким слоем - невозможность эффективного удержания света. Чтобы преодолеть её, с двух сторон кристалла добавляют ещё два слоя. Эти слои имеют меньший коэффициент преломления по сравнению с центральными слоями. Такая структура, напоминающая световод, более эффективно удерживает свет. Эти устройства называются гетероструктурами с раздельным удержанием («separate confinement heterostructure», SCH)
Большинство полупроводниковых лазеров, произведённых с 1990-го года, изготовлены по этой технологии.

Лазеры с распределённой обратной связью
Лазеры с распределённой обратной связью (РОС) чаще всего используются в системах многочастотной волоконно-оптической связи. Чтобы стабилизировать длину волны, в районе p-n перехода создаётся поперечная насечка, образующая дифракционную решётку. Благодаря этой насечке, излучение только с одной длиной волны возвращается обратно в резонатор и участвует в дальнейшем усилении. РОС-лазеры имеют стабильную длину волны излучения, которая определяется на этапе производства шагом насечки, но может незначительно меняться под влиянием температуры. Такие лазеры - основа современных оптических телекоммуникационных систем.

VCSEL
VCSEL - «Поверхностно-излучающий лазер с вертикальным резонатором» - полупроводниковый лазер, излучающий свет в направлении, перпендикулярном поверхности кристалла, в отличие от обычных лазерных диодов, излучающих в плоскости, параллельной поверхности.

VECSEL
VECSEL - «Поверхностно-излучающий лазер с вертикальным внешним резонатором». Аналогичен по своему устройству VCSEL, но имеющий внешний резонатор. Может исполняться как с токовой, так и с оптической накачкой.

Принцип действия

Когда на анод обычного диода подаётся положительный потенциал, то говорят, что диод смещён в прямом направлении. При этом дырки из p-области инжектируются в n-область p-n перехода, а электроны из n-области инжектируются в p-область полупроводника. Если электрон и дырка оказываются «вблизи» (на расстоянии, когда возможно туннелирование), то они могут рекомбинировать с выделением энергии в виде фотона определённой длины волны (в силу сохранения энергии) и фонона (в силу сохранения импульса, потому что фотон уносит импульс). Такой процесс называется спонтанным излучением и является основным источником излучения в светодиодах.
Однако, при определённых условиях, электрон и дырка перед рекомбинацией могут находиться в одной области пространства достаточно долгое время (до микросекунд). Если в этот момент через эту область пространства пройдёт фотон нужной (резонансной) частоты, он может вызвать вынужденную рекомбинацию с выделением второго фотона, причём его направление, вектор поляризации и фаза будут в точности совпадать с теми же характеристиками первого фотона.
В лазерном диоде полупроводниковый кристалл изготавливают в виде очень тонкой прямоугольной пластинки. Такая пластинка по сути является оптическим волноводом, где излучение ограничено в относительно небольшом пространстве. Верхний слой кристалла легируется для создания n-области, а в нижнем слое создают p-область. В результате получается плоский p-n переход большой площади. Две боковые стороны (торцы) кристалла полируются для образования гладких параллельных плоскостей, которые образуют оптический резонатор, называемый резонатором Фабри-Перо. Случайный фотон спонтанного излучения, испущенный перпендикулярно этим плоскостям, пройдёт через весь оптический волновод и несколько раз отразится от торцов, прежде чем выйдет наружу. Проходя вдоль резонатора, он будет вызывать вынужденную рекомбинацию, создавая новые и новые фотоны с теми же параметрами, и излучение будет усиливаться (механизм вынужденного излучения). Как только усиление превысит потери, начнётся лазерная генерация.
Лазерные диоды могут быть нескольких типов. У основной их части слои сделаны очень тонкими, и такая структура может генерировать излучение только в направлении, параллельном этим слоям. С другой стороны, если волновод сделать достаточно широким по сравнению с длиной волны, он сможет работать уже в нескольких поперечных режимах. Такой диод называется многомодовым (англ. «multi-mode»). Применение таких лазеров возможно в тех случаях, когда от устройства требуется высокая мощность излучения, и не ставится условие хорошей сходимости луча (то есть допускается его значительное рассеивание). Такими областями применений являются: печатающие устройства, химическая промышленность, накачка других лазеров. С другой стороны, если требуется хорошая фокусировка луча, ширина волновода должна изготавливаться сравнимой с длиной волны излучения. Здесь уже ширина луча будет определяться только пределами, накладываемыми дифракцией. Такие устройства применяются в оптических запоминающих устройствах, лазерных целеуказателях, а также в волоконной технике. Следует, однако, заметить, что такие лазеры не могут поддерживать несколько продольных режимов, то есть не могут излучать на разных длинах волн одновременно.
Длина волны излучения лазерного диода зависит от ширины запрещённой зоны между энергетическими уровнями p- и n-областей полупроводника.
В связи с тем, что излучающий элемент достаточно тонок, луч на выходе диода, благодаря дифракции, практически сразу расходится. Для компенсации этого эффекта и получения тонкого луча необходимо применять собирающие линзы. Для многомодовых широких лазеров наиболее часто применяются цилиндрические линзы. Для одномодовых лазеров, при использовании симметричных линз, сечение луча будет эллиптическим, так как расхождение в вертикальной плоскости превышает расхождение в горизонтальной. Нагляднее всего это видно на примере луча лазерной указки.
В простейшем устройстве, которое было описано выше, невозможно выделить отдельную длину волны, исключая значение, характерное для оптического резонатора. Однако в устройствах с несколькими продольными режимами и материалом, способным усиливать излучение в достаточно широком диапазоне частот, возможна работа на нескольких длинах волн. Во многих случаях, включая большинство лазеров с видимым излучением, они работают на единственной длине волны, которая, однако обладает сильной нестабильностью и зависит от множества факторов - изменения силы тока, внешней температуры и т. д. В последние годы описанная выше конструкция простейшего лазерного диода подвергалась многочисленным усовершенствованиям, чтобы устройства на их основе могли отвечать современным требованиям.

Зонные диаграммы в равновесном состоянии и при внешнем смеще нии

Когда прямое смещение на p-n переходе достаточно велико, чтобы позволить электро-
нам распространяться по зоне проводимости (или дыркам по валентной зоне), имеет место инжекционный характер протекания тока (см. рис 1).

Рис. 1: Зонная диаграмма p-n перехода: а) без смещения, б) при положительном смещении.
С целью уменьшения пороговой плотности тока были реализованы лазеры на гетероструктурах (с одним гетеропереходом – n-GaAs–pGe, p-GaAs–nAlxGa1-xAs; c двумя гетеропереходами – n-AlxGa1-xAs – p-GaAs – p+-AlxGa1-xAs. Использование гетероперехода позволяет реализовать одностороннюю инжекцию при слаболегированном эмиттере лазерного диода и существенно уменьшить пороговый ток. Схематично одна из типичных конструкций такого лазера с двойным гетеропереходом изображена на рисунке 1. В структуре с двумя гетеропереходами носители сосредоточены внутри активной области d, ограниченной с обеих сторон потенциальными барьерами; излучение также ограничено этой областью вследствие скачкообразного уменьшения показателя преломления за ее пределы. Эти ограничения способствуют усилению стимулированного излучения и соответственно уменьшению пороговой плотности тока. В области гетероперехода возникает волноводный эффект, и излучение лазера происходит в плоскости, параллельной гетеропереходу.

Рис.1
Зонная диаграмма (а, б, в) и структура (г) полупроводникового лазера на двойном гетеропереходе
а) чередование слоев в лазерной двойной n–p–p+ гетероструктуре;
б) зонная диаграмма двойной гетероструктуры при нулевом напряжении;
в) зонная диаграмма лазерной двойной гетероструктуры в активном режиме генерации лазерного излучения;
г) приборная реализация лазерного диода Al0,3Ga0,7As (p) – GaAs (p) и GaAs (n) – Al0,3Ga0,7As (n), активная область – слой из GaAs (n)
Активная область представляет собой слой n-GaAs толщиной всего 0,1–0,3 мкм. В такой структуре удалось снизить пороговую плотность тока почти на два порядка (~ 103 А/см2) по сравнению с устройством на гомопереходе. В результате чего лазер получил возможность работать в непрерывном режиме при комнатной температуре. Уменьшение пороговой плотности тока происходит из-за того, что опт
и т.д.................